发布时间：2022年07月04日 18时12分23秒

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　　本文为大家讲解的是关于压力响应范围是传感器性能评估的一项重要指标，下面威斯尼斯人60555小编将从极低压和高压两个角度为大家进行简单阐述。由于大多数传感器在正常压力范围内拥有出色的响应能力，但是在极低压下(低于压力检测限)却不响应了。

　　基于这个问题，很多研究者提出了相应的解决办法。例如Dagdeviren等在传感阵列单元中引入PZT设计了一种小巧轻薄并且可拉伸30%的压电型传感器，它可以和皮肤很好地贴合。由于场效应晶体管的放大效应，该传感器拥有超低的检测极限(可以感应到0.005Pa的压力)。

　　除了扩展低压区的检测限，压力传感器也需要在高压区具有良好的响应。前面已经提到，很多研究工作通过引入活性层或电极上的微结构来提高器件的灵敏度，包括金字塔、尖锥状、球状微结构等，这些结构都属于稳定结构。

　　由于软材料的不可压缩性，以及这些结构受压时发生硬化的现象，采用微结构的传感器很容易在压力较大时信号达到饱和，最近我们课题组制备了具有多级非稳态自补偿结构的离电型压力传感器有效地解决了上述问题。

　　该工作采用一种易于失稳的结构，它在受压失稳后，将嵌入到微沟槽中，有效地提高结构的可压缩性。在该策略指导下传感器在极宽的压力响应范围内(0.08 Pa—360 kPa)的灵敏度均超过了220kPa–1.在高压区的灵敏度超过了之前结果达4个数量级。

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