MEMS压力传感器在各大应用领域都被广泛使用
MEMS压力传感器是最早开发的MEMS器件之一,现在与惯性传感器(加速度计和陀螺仪)、麦克风及RFMEMS传感器共享这一领域。202年,MEMS压力传感器收入占全球市场总额近15%。
如今,MEMS压力传感器几乎在每个行业都被广泛的使用了,通常用于消费类设备(智能手机和可穿戴设备)、工业系统(HVAC、过程控制和运输)、医疗设备(血压监测器和呼吸设备)、航空航天和国防(用于高度和数据)以及汽车应用等各大领域。
而汽车一直是主要的市场,主动和被动安全系统都在使用传感器,如胎压监测系统、制动助力器和侧气囊及HVAC和汽车座椅中,以提高乘客舒适度。
最近,其在混合动力汽车和电动汽车中发现了一种新的应用,即电池监测系统(BMS)中监测电池热失控,而大多数还是用于车辆动力传动系:用于BAP(不良行为预防)、MAP(绝对压力)、颗粒过滤器、燃油箱蒸发、EGR和监测自动变速器油位。
另外随着医疗市场的不段扩展,MEMS压力传感器所有市场都有所增加。医疗设备同比增长16%,这部分是因为呼吸设备和呼吸机的产量增加,几乎每台设备都会使用2到5个压力传感器。家庭医疗也在增加,以支持社交距离,导致日常检查在家中进行,如使用MEMS压力传感器的血压监测仪产品,这种护理点(PoC)方法是一种更广泛的医疗行业趋势,从而使监测更接近患者。
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