微型传感器所具备的基本功能以及它的特点
与传统传感器相比微型传感器它具有许多新的特性,可以弥补传统传感器的不足,同时具有广泛的应用前景,越来越受到重视。本文详细介绍了一些微型传感器的结构和原理,阐述了微型传感器的基本功能及它的特点。
微型传感器所具备的功能及特点如下:
由于传统传感器材的制造工艺与半导体IC工艺不兼容,无论是功能、规模还是成本,都无法适应IC技能制造的高速、高密度、小体积、低成本信号处理设备,从而限制了整个系统的集成、批量和功能的充分发挥。
微型传感器不是传统传感器的简单物理缩小产品,而是通过MEMS加工技术制备的新一代传感器材,它具有小型化、集成化的特点,具有新的工作机制和物化效应,可以大大提高传感器的功能。信号传输前可以扩大信号,然后减少干扰和传输噪音提高信噪比,从而在芯片上集成反应线和补偿线,可提高输出的线性和频响特性,从而减少错误,提高相应的灵敏度。
此外微型传感器同时还具有阵列性,除了灵敏元件可以集成在一个芯片上以外,还具有扩大电路和补偿线路的特点。并且可以在同一个芯片上集成多个相同的灵敏元件,兼容性突出等特点便于与微电子设备集成和包装。
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